+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw

Sản phẩm

Màng carbon giống kim cương

Lớp phủ carbon giống kim cương (DLC) là một vật liệu carbon nano-composite vô định hình, sở hữu các đặc tính tương tự như kim cương tự nhiên bao gồm ma sát thấp, độ cứng cao và khả năng chống ăn mòn xuất sắc. Lớp phủ phù hợp có thể giảm thiểu mài mòn do ma sát trượt, và máy phủ màng DLC có thể cung cấp giải pháp phủ tối ưu này. Khi bạn tích hợp lớp phủ DLC vào sản phẩm của mình, độ cứng và khả năng chống ăn mòn của chúng sẽ đạt mức tương đương với kim cương. Màng DLC sở hữu các ưu điểm vượt trội như độ cứng cao, chống ăn mòn, chống mài mòn, ma sát thấp, v.v. Nhờ vậy, công nghệ này có thể được ứng dụng rộng rãi trên lớp phủ dụng cụ cắt gọt, khuôn bán dẫn, thấu kính quang học và thiết bị y tế. Hệ thống DLC của SYSKEY có thể kiểm soát chính xác riêng biệt khí quy trình cùng với việc giám sát các thông số (Áp suất buồng, Lưu lượng khối của các loại khí đặc biệt). Hơn nữa, màng DLC của SYSKEY có độ bám dính tốt hơn và đặc tính độ dẻo dai cao, đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu về độ cứng, điện trở suất và khả năng chống mài mòn cho các ứng dụng sản phẩm độc đáo của khách hàng.

 
 

 

Ứng dụng Buồng chân không
  • Lớp phủ chống mài mòn cho các sản phẩm y tế & thương mại.
  • Đóng gói bảo vệ, cách điện/cách ly.
  • Màn hình hiển thị chống trầy xước.
  • Kích thước buồng linh hoạt, phụ thuộc vào kích thước đế và ứng dụng.

  • Kiểm soát nhiệt độ buồng bằng cách sử dụng ốp gia nhiệt,
    Nước làm mát, Nước nóng.

Cấu hình và lợi ích Tùy chọn
  • Kích thước đế linh hoạt.
  • Quy trình xử lý đa wafer (Multi wafers).
  • Độ đồng đều màng mỏng xuất sắc dưới ±3%.
  • Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) với khả năng phân phối khí đồng đều cao.
  • Plasma ghép cặp điện dung (CCP) dạng trực tiếp và dạng từ xa.

 

 

We use cookies to ensure that we give you the best experience on our website. If you continue to use this site we will assume that you are happy with it.(Privacy policy)

Refause